《表1 常用的LIBS扫描成像仪器类型》

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《基于激光诱导击穿光谱的元素成像技术研究进展》

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在LIBS成像技术中，激光源（波长、脉冲能量、稳定性）、光路系统及光谱仪对空间分辨率和检测灵敏度都有重要影响，考虑到样本类型、扫描区域的大小、成像的空间分辨率、检测的灵敏度以及时间等因素，研究人员可以结合各仪器以满足实验需要。表1中回顾了几种常见的激光器、聚焦光路、光谱仪等类型及空间分辨率和检测限。