《表3 认定值、CF-LIBS和OPC-LIBS校正后的结果比较》

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《高真空环境下激光诱导击穿光谱技术对镍基合金的定量分析研究》

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注：认定值由厂家美国加联仪器有限公司提供。

应用单点校正法后，未知样品的计算结果更接近认定值，结果被展示在表3中。从表3中可以看出，对于基体元素Ni，在样品73M65C中，CF-LIBS的计算误差是17.26%，OPC校正后的误差是2.69%。Fe和Cr作为主量元素，校正后的误差是12.02%和4.70%。对于元素Mo，误差从53.40%降至6.63%。同样地对于元素W，准确度有了很大的提高。在样品73M257A中，W的真实原子百分比是0.03%，应用OPC校正后，由CF-LIBS计算的浓度0.35%降到0.05%。结果还不是很理想，可能是因为W的含量很低，采集到的谱线W I 400.87nm信噪比差，低气压下谱线波动大，造成定量精度差。而且在该样品中Fe和Cr的含量只有1.75%和2.02%，同样的低含量增加了该样品定量准确度提高的难度。