《表4 计算结果和测试结果对比》

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《大尺寸晶圆磨削减薄设备气浮主轴承载特性研究》


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(2)为了便于解析计算,将部分边界条件进行简化,将空气假设为理想气体,没有考虑到气体局部超音速、温度变化对气体流态的影响,因此,造成计算结果偏大。