《表1 工件位姿误差对投影偏差的影响》
每个子孔径位姿在空间中有六个运动自由度,分别为tx,ty,tz,θx,θy,θz。其中θz对相机所采集的条纹图样的影响和具体的被测面形有关,而且一般是非敏感量,暂时不作深入讨论。tz在上一节中已开展分析,它会导致追迹像素沿某一方向偏斜。而另外四个运动自由度对投影偏差的影响都有特定规律。由于每个投影点都有u、v两个坐标分量,也即通过光线追迹可以得到两个方程,而对于tx,ty,tz,θx,θy五个自由度至少需要三个姿态才能提供足够的约束条件,使得子孔径定位问题适定。因此利用气浮转台,分别转动0°、90°、180°,所对应的三个姿态分别称为A、B、C,则在屏幕的uv像素坐标系中,各个自由度所对应的投影偏差方向如表1所示。
图表编号 | XD00146856200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.08.01 |
作者 | 张祥朝、徐敏 |
绘制单位 | 复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心、复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |