《表2 中空离轴抛物镜的技术指标》

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《面向精密制造的光学自由曲面在位偏折测量技术》

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抛物面镜广泛地应用于光学系统中的光束准直。而在卡塞格林望远镜这一类需要转折光路的应用场景中，主镜需要留出通孔，避免光束遮挡。这里采用Precitech Freeform XL单点金刚石车床加工了一个中空离轴抛物镜（off-axis parabolic，OAP），如图14所示，其名义指标如表2所示。因为这一类型的光学表面不具有几何中心点和极值点，且其边缘点不可探测，也即没有可用的几何特征点，因此中空离轴抛物面镜无法用传统的SCOTS方法测量。采用本文所提出的几何标定与定位方法进行偏折测量，实际被测的子孔径区域以及所拍摄的条纹如图15所示，绿色虚线内为被测子孔径。为了进行对比验证，使用Zygo GPI XP/D型干涉仪结合标准球进行零位测量。由于需要在光路中同时调整被测镜面和标准球的位姿，因此干涉测量非常耗时。