《表1 磁控溅射的环境记录》

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《基于互补式多波段带通滤光片的3D投影显示系统》

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以Nb2O5和SiO2为沉积材料，采用磁控溅射（HSP-1650）交替沉积两种材料构成多波段带通滤波器。薄膜沉积过程中，腔体内充斥纯氧，交替使用硅靶和镍靶在玻璃基板（厚0.8 mm）上进行沉积，沉积的第一层为Nb2O5。磁控溅射的环境记录如表1。