《表4 不同类型薄膜的加权平均反射率》

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《微热压印制备三棱锥结构减反射薄膜》

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通过引入加权平均反射率的计算来比较减反射效率，结果如表4所示，微结构薄膜可将光滑平面薄膜的加权平均反射率从13.36%降低至7.51%，减反射效率提升43.79%。同样复合微结构薄膜的光面晶体硅表面可将光面晶体硅表面的加权平均反射率从21.47%降低至12.97%，减反射效率提升39.59%，进一步从微结构薄膜的光学性能方面验证三棱锥阵列结构的完整性。