《表4 不同溶胶浓度所制备CuAlO2薄膜的平均透光率》

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《工艺条件对CuAlO_2透明导电薄膜光电性能的影响》

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由于溶胶浓度越低，在相同旋涂次数的情况下薄膜厚度越薄，其透光率的测试结果不具可比性。为此，制备了不同溶胶浓度相同厚度（600 nm）的CuAlO2薄膜样品进行可见光（450～780 nm）透光率测试，结果见表4。结果表明，不同溶胶浓度制备的薄膜在相同厚度情况下，溶胶浓度不超过0.35 mol/L时薄膜的平均透光率并无明显差别，但过高溶胶浓度制得的薄膜由于出现裂纹及孔洞，其透光率明显下降。