《表3 不同溶胶浓度所制备CuAlO2薄膜的电阻率》

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《工艺条件对CuAlO_2透明导电薄膜光电性能的影响》

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表3给出了在750℃退火条件下CuAlO2薄膜电阻率随溶胶浓度变化的数据。从表3可看出，薄膜的电阻率随溶胶浓度的增大先减小后增大，说明溶胶浓度会明显影响薄膜的导电性。前文已证实，在较低浓度范围时，薄膜的结晶质量和致密度随溶胶浓度的增加而提高，使薄膜中载流子的迁移率随溶胶浓度的增加而增大，从而改善其导电性。因此，基于0.35 mol/L溶胶浓度制备的CuAlO2薄膜的导电性比基于0.15或0.25 mol/L浓度胶体制备的薄膜更好。但溶胶浓度更大时（如0.45和0.55 mol/L），薄膜中会产生许多微观孔洞和裂纹，这无疑增强了缺陷态捕捉载流子的能力以及缺陷对载流子散射的能力，使薄膜中载流子的迁移能力下降，导致电阻率增大。