《表4 栅极中心距离与栅极保护电极环宽》

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《外推电离室内部电场模拟研究》


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研究栅极厚度与保护电极环宽对电场均匀性的影响。根据图1中电离室的二维图,用D代表保护电极内径与栅极的距离(可近似认为是保护电极的环宽),S代表栅极中心间距离,同时用a=D/S代表其比值,模拟过程中,保持栅极中心距离S为0.2 mm,改变D的值,如表4所示,观察电场强度的变化,其中栅极的厚度为0.18 mm,栅极间空隙为0.02 mm。