《表2 不同栅极膜厚、坡度角下的FGI覆盖率》

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《栅极坡度角对TFT器件制程的影响》

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不同栅极膜厚和坡度角样品与FGI层覆盖率对应情况如表2所示。从表中可以看出，当栅极膜厚固定时，栅极坡度角和FGI层覆盖率是负相关关系。将栅极膜厚和坡度角视作自变量，将FGI的覆盖率视作因变量，采用三维做图，情况如图7所示。通过对三维视图进行旋转，可以看出台阶覆盖率随着坡度角的变化而变化，同栅极膜厚并无明显的变化趋势。采用Minitab对上述两个自变量和一个因变量采用主效应分析，明确两个自变量对因变量的影响程度。主效应分析情况如图8所示，可以看出膜厚对FGI覆盖率的影响不超过10%，可以忽略，坡度角的影响程度最大。