《表3 抽样测试THK数据》

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《TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响》

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编辑导入显影液控制系统，最初系统设置一个初始C1和C2值作为标准生产参数，连续生产过程中，随着C2的变化，通过公式关系实时反馈给系统C1需要补偿值，系统根据实际需求通过加入纯水或高浓度显影液来调节C1，达到标准生产参数的显影能力，图6为一台生产设备一段时间内导入系统公式后C1、C2的实际关系趋势，保持生产过程中的显影液的显影能力处于相同水平。抽样测试导入公式后不同C2值时32in ADS产品的THK，如表3，都处于标准THK管控范围（（550±50)nm）。