《表3 局部温度补正前后对THK和3s影响测试》

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《TFT-LCD光刻工艺前烘对沟道膜厚均一性的影响》

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前烘热盘为多点温度控制系统，通过12个独立的温度控制区域进行调解。文章中整理了3张正常进行未局部温度补正玻璃基板的THK均值为5266，THK 3s均值为1926，并绘制了THK等值线图，如图4中正常进行所示。根据THK等值线图可以看出膜层某些位置均一性不好，对热盘区域1、区域2、区域3、区域5、区域7、区域11、区域12进行了如图5所示的局部温度补正后，进行了均一性验证实验，局部温度补正后的THK等值线图如图4中的局部温度补正所示，条件和结果如表3所示。