《表2 C2变化对THK的影响》

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《TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响》

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控制显影液C1值为2.43%，其余光刻条件同量产，最初显影液储槽打满新药液（C2值为0），通过添加循环利用的显影液以及空气中长时间放置，调整C2值，测试C2值变化与THK的影响，详细条件如表2。