《表1 C1变化对THK的影响》
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《TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响》
控制显影液C2参数为0.50%，其余光刻条件同量产，C1量产管控为2.43%，通过添加纯水和高浓度显影液调整C1数值，测试C1变化对THK的影响，详细条件如表1所示。
| 图表编号 | XD00126077200 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.12.01 |
| 作者 | 陈国、韩亚军、于洪禄、丁振勇、王鹏、郑铁元、李伟 |
| 绘制单位 | 北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
