《表1 PECVD Active THK部分PFMEA信息》

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《精细化管理-基于制程设备差异的SPC控制图建立方式探讨》

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以TFT-LCD面板行业中Array工艺的关键过程PECVD为例，Active Layer膜厚是关键特性之一，其目标值是2200?，规格为[1800?，2500?]，若Active THK超出规格将导致显示异常等不良，部分PFMEA信息如表1。同时，明确PECVD Active THK数据是由“8AMTH01”和“8AMTH02”两台设备自动测量得到；生产设备“8ATPE01～8ATPE06”共六台，每台设备各有“CHA～CHE”共5个chamber。抽样计划为每生产15个Lot（批次）就抽取1个Lot中的5张Glass，每张Glass测88个点位的Active THK值，具体见表2。