《表1 0 Meryer Burger公司的板式PECVD设备的参数》

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《2020年中国光伏技术发展报告——晶体硅太阳电池研究进展(3)》

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对于板式PECVD设备而言，由于现有产线是针对M2硅片设计的，因此该类设备的宽度余量有限，而增大硅片的尺寸必定会减小单个载板的硅片数量。表10为目前占据主流市场的Meryer Burger公司的板式PECVD设备的参数。从中可以看出，其载板放置硅片片数为6行6列，采用边长为156.75 mm的M2硅片，不算边缘的硅片，载板总宽度为904.5 mm；若采用边长为166 mm的硅片，载板总宽度将会达到966 mm，超出61.5 mm，考虑到设备腔体宽度及等离子源的均匀区域，这种尺度的变化存在问题。若无法兼容就只能将载板改成5×6的形式，5个166mm硅片的宽度为830 mm，但这将会降低产能。而对于边长为210 mm的硅片来说，若不进行设备改造或许只能放在4×4的载板中，4片210mm硅片的宽度为840 mm，但这将大幅影响产能。因此可以得出结论，虽然现有的板式PECVD设备可以通过改造载板来适用于M12硅片，但产能会大幅降低，因此板式PECVD设备完全不兼容M12硅片，即使是M6硅片也会损失一定的产能。这不仅会影响到Meryer Burger公司的微波PECVD设备，也会影响到国产制备Al2O3薄膜的板式PECVD设备，比如理想和微导的ALD设备。