《表9 不同的管式PECVD石墨舟的参数》

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《2020年中国光伏技术发展报告——晶体硅太阳电池研究进展(2)》

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由图20可以看出，放置硅片的石墨舟的尺寸受到硅片边长的影响，若硅片边长加长，则放置硅片的数量就相应减少。石墨舟中每片石墨片的两侧放置2片硅片，边缘石墨片的内侧放置硅片，而外侧不能放置硅片，因此若石墨舟使用了25片石墨，则横截面上可以放置的硅片数量为48片。此外，石墨舟沿石英管长度方向的纵向可以放置多个重复的单元。目前，许多设备制造商为了增加产能，将PECVD的石英管道做得很长，相应的恒温区也需要加长。典型的设备可以并排放置9片硅片，如捷佳伟创公司的450机型，因此对于166 mm的硅片，可以放置432片，如表9所示。同样是450 mm内径的石英管，M2硅片和M4硅片都可以放置432片/舟，但是由于M6硅片比M2硅片的尺寸大，因此，同样是纵向放置9片硅片，石墨舟的长度存在差异，而差异不大，在0.1 m左右。但是对于边长210 mm的硅片而言，450 mm内径的石英管只能横向放置44片硅片，若纵向仍放置9片硅片就会使石墨舟长达2.2 m，为了与166 mm硅片相兼容，即使纵向放置8片，石墨舟长度也会超过2 m，这样单舟放置片数只有352片。