《表1 7 日本Ulvac公司的CAT-CVD设备的工艺参数》

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《2020年中国光伏技术发展报告——晶体硅太阳电池研究进展（5）》

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理想万里晖公司的PECVd设备参数如表18所示[27]，该公司的单套盒PECVd设备的产能为1600片/h，年产能可以达到50 MW；该公司已于2019年开发出了大腔室中放置2个小片盒的设备，节拍为3000片/h，产能可达到100 MW。2019年该公司已经向中微公司销售了其双套盒的PECVd设备。