《表1 正交实验因素和水平分布表》

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《化学机械抛光的钛宝石晶体低损伤加工》


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实验考虑了抛光盘、抛光压力、抛光转速、硅溶胶浓度作为主要的四个影响因素,每个因素选取了三个水平,如表1所示。