《表2 视像自动对准与人工对准异常率比较》

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《光刻机视像自动对准系统的开发》

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视像自动对准系统在生产过程中，要能够处理很多种类型的掩模和产品，目前已经能够处理上百种产品。虽然经过不断的优化和改进，仍然不能完全避免不能识别的情况，当系统不能正常识别对准标记时，系统将发出报警，提醒员工进行人工处理，并记录无法识别的图像，便于后期进行改进。这种现象记录为自动对准失败，将成功自动对准晶圆片数占总加工片数比例称为对准成功率。同时，在某些情况下视像自动对准系统也会出现未对准但是系统误判为对准而曝光的情况，这种情况记录为对准异常，将异常曝光片数占总加工片数比例称为片异常率。经过统计，长期工作眼睛存在疲劳，人工对准中片异常率为0.07%左右，视像自动对准系统的片异常率已经能够稳定控制在0.05%以下，明显优于人工对准。表2为生产过程中统计数据，第一行产品对准成功率略低于第二行产品，未出现异常曝光。第二行产品对准成功率超过99%，片异常率为0.05%，低于人工对准的片异常率。需要说明的是，为了控制片异常率，需要加强视像自动对准的判别，让视像自动对准系统能够发现未正常对准的晶圆，必然会降低对准成功率。