《表1 视像自动对准精度与人工对准精度比较》

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《光刻机视像自动对准系统的开发》

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在生产过程中，任取一个片盒含25片晶圆，其中1～10片晶圆采用人工对准，11～25片晶圆采用视像自动对准。在曝光后晶圆上选择两处，批号处和定位面处分别测试x机偏量和y机偏量，分别计算批号处和定位面处的x，y机偏量误差平均值、中值和最大值，记录在表1中。从表1中可见，视像自动对准的精度基本上与人工对准精度相当，平均误差为0.5μm左右，最大误差为1.2μm。视像自动对准x机偏量偏差要明显小于y机偏量偏差，而人工对准则不存在此现象，x机偏量偏差和y机偏量偏差基本一致。今后的重点是改进y方向的自动对准精度，达到x方向自动对准精度水平，则视像自动对准的精度会优于人工对准精度，平均误差会减小0.1μm，最大误差会减小0.3μm，对准精度提高20%以上。