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目录1

第一章 绪论1

§1.1概述1

§1.2表面及其特点2

§1.3微分析的目的与分类4

第二章 电子与固体的相互作用6

§2.1原子能级和固体的能带6

§2.2电子束强度的衰减规律9

§2.3散射截面10

§2.4入射电子在厚试样中的散射15

§2.5原子受激后的弛豫过程18

§2.6电子衍射22

§2.7信息及其产生过程23

§2.8电子束的其他效应27

§2.9小结28

思考与练习29

参考资料29

第三章 电子显微镜30

§3.1电子光学基础30

§3.2真空及真空系统35

§3.3透射电镜(TEM)37

§3.4扫描电镜(SEM)43

§3.5电子探针X射线显微分析47

思考与练习50

参考资料51

第四章 俄歇电子能谱(AES)52

§4.1概述52

§4.2能量分析器53

§4.3探测器60

§4.4锁相放大器62

§4.5俄歇信息的检测68

§4.6俄歇仪的主要性能指标70

§4.7俄歇能谱的分析技术70

§4.8应用74

思考与练习76

参考资料77

第五章 以光子为探束的分析技术78

§5.1概述78

§5.2光电发射与光电截面79

§5.3X射线光电子能谱仪(XPS)82

§5.4X射线光电子能谱中的分析技术89

§5.5X射线光电子能谱的应用91

§5.6紫外光电子能谱(UPS)96

§5.7红外吸收谱(IRAS)97

思考与练习106

参考资料106

第六章 以离子为探束的分析技术107

§6.1离子与固体表面相互作用的基本概念107

§6.2溅射110

§6.3次级离子发射114

§6.4以离子为探束的分析技术及其特点120

§6.5离子枪与质量分析器121

§6.6低能离子散射谱(ISS)129

§6.7高能离子散射谱(HEISS)(卢瑟福背散射谱)135

§6.8次级离子质谱(SIMS)139

思考与练习146

参考资料146

第七章 晶体结构与X射线衍射分析147

§7.1晶体结构的基本知识147

§7.2晶体对X射线的衍射153

§7.3X射线衍射分析159

思考与练习165

参考资料166

第八章 低能电子衍射(LEED)167

§8.1二维结晶学的基本概念167

§8.2低能电子衍射172

§8.3低能电子衍射图173

§8.4低能电子衍射谱178

思考与练习179

参考资料180

第九章 磁共振波谱(MRS)181

§9.1自旋与磁矩181

§9.2磁共振原理186

§9.3磁共振谱线特性188

§9.4波谱仪及其应用190

思考与练习192

参考资料192

附录Ⅰ 常用微分析技术性能193

附录Ⅱ 常用微分析技术中英文名称及缩写197

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