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目录1

电子光学微观分析仪器概述 郭可信1

一、序言1

二、电子与物质的交互作用2

（一）散射2

（二）各种电子信息12

（三）衍射18

（四）各种信息及其在电子光学微观分析仪器中的应用23

三、电子探针及扫描电镜25

（一）仪器简述26

（二）空间分辨率33

（三）波长色散谱仪38

（四）X射线能谱分析42

四、透射电镜52

（一）仪器概述52

（二）选区衍射与选择衍射成象54

（三）能量分析电镜和能量选择电镜63

（四）透射扫描电镜69

五、表面探针75

（一）低能电子衍射仪76

（二）俄歇电子能谱仪80

六、结束语87

参考文献89

扫描电子显微镜 刘永康91

一、扫描电镜的性能特点92

二、扫描电子显微镜的成像原理93

三、扫描电子显微镜仪器的结构99

四、扫描电子显微镜样品的制备101

五、扫描电子显微镜的应用举例102

参考文献104

电子探针定量分析方法 崔乃俊106

一、引言106

二、定量分析的基本原理107

三、定量分析的修正方法111

四、实验条件的选择和操作中应注意的问题133

五、结束语140

参考文献141

电子探针中关于X射线测量的统计误差处理问题 刘茂江李永祚143

一、前言143

二、X射线测量误差的定义144

三、电子探针中关于元素定量分析的误差运算152

四、分析实例155

五、附录163

参考文献166

电子探针分析仪电气性能的测试方法和维护使用中若干问题的分析处理方法 牛存义周美安陈永祺167

一、电子探针主要电气性能的测试方法167

二、维护使用中若干问题分析处理方法188

参考文献205