《电子显微镜技术》

目 录1

第1章基本概念1

1.1电子射线的波长和分辨率1

光学显微镜的分辨率1

电子显微镜的分辨率2

1.2电磁式电子透镜4

电磁式电子透镜原理4

实用电子透镜的构造5

1.3几何光学图的描述方法8

透镜的几何光学图的基础8

电镜几何光学图的变化9

1.4透镜的象差及其消除方法13

第2章电子显微镜的构造和维护21

2.1照明系统21

电子枪21

会聚透镜23

摇摆原理25

2.2试样室25

对试样室要求的条件26

实用试样室的构造29

2.3成象系统透镜30

物镜31

中间镜和选区光阑34

高分辨衍射试样室35

2.4观察与记录36

低衬度试样的照相技术37

金属薄膜试样的照相技术38

2.5真空系统41

电镜中所必须达到的真空度41

真空故障及其排除方法42

2.6对中调整方法45

电子枪的对中调整45

会聚透镜的对中调整48

物镜的电流中心48

象差的校正49

第3章通用的制样技术50

3.1试样的支持膜51

火棉胶支持膜51

高倍观察用的微栅53

3.2粉末分散法58

撒落法59

浆糊法61

溶胶、凝胶分散法62

喷雾法65

3.3真空蒸发法70

蒸发法72

阴影溅射法73

复型法74

粉末复型法78

萃取复型法79

3.4金属薄膜制取法84

切片与减薄85

化学减薄88

双面溅射减薄法89

第4章电镜成象的衬度92

4.1散射衬度92

4.2衍射衬度94

4.3相位衬度100

几何光学106

第5章选区电子衍射方法106

5.1选区电子衍射的几何光学106

装置的设定和操作方法110

旋转角的校正112

选区电子衍射法的精度114

5.2晶体学基础（概要）116

周期结构和衍射现象117

面间距的计算120

消光规律124

晶面角125

晶体学符号126

单晶衍射花样的计算129

5.3电子衍射图的计算129

德拜－谢乐环的计算130

5.4利用单晶衍射花样鉴定物质133

单晶衍射花样的注释条件133

定性分析实例135

5.5利用电子计算机标定指数148

程序概要148

计算程序151

第6章 能量色散谱仪（EDX）分析法154

6.1能量色散谱仪信号的定量分析155

薄膜试样的厚度和X射线强度155

微粒试样的X射线强度157

6.2分析精度159

薄膜厚度的测量精度159

微粒重量的测量精度159

6.3利用能量色散谱仪进行定量分析的方法160

第7章动态观察法164

7.1多用途试样室的构造166

7.2各种试样夹持器167

7.3防止氧化、脱碳的措施173

7.4动态观察实例174

参考书目177

附录：面指数和面间距表178