《电子显微镜》

目录1

前言1

第一章 概述1

第二章 电子显微镜的原理11

一、显微镜中的电子波13

二、电子透镜14

三、电子显微镜的实际磁透镜16

四、磁透镜的特性19

1．球差26

五、电子透镜的象差26

2．色差28

3．象散29

4．畸变30

5．彗差32

6．象差的实验曲线和有关公式32

六、场深和焦深38

2．开机 138

七、电子图象的形成40

1．散射40

1．加速电压的选择 141

2．吸收42

3．干涉42

4．衍射43

八、影响分辨本领的因素43

1．色差的影响44

2．象散的影响44

3．污染的影响45

4．电子图象的移动45

参考文献46

5．电子噪声46

一、电子光学系统47

1．电子枪47

第三章 电子显微镜的结构47

2．聚光镜56

3．合轴机构和调焦器60

4．样品室65

5．物镜67

6．中间镜投影镜73

7．磁路的设计82

8．观察室86

9．照相机88

1．低真空系统90

二、真空系统90

2．高真空系统93

3．真空管道阀门及控制系统94

4．真空检测96

三、供电系统99

1．加速电源99

2．磁透镜激磁电源111

3．辅助电源117

四、辅助系统133

1．水冷系统133

2．气动系统134

3．起重架135

参考文献136

第四章 电子显微镜的调试137

一、操作步骤137

1．开机前的准备137

3．停机140

二、电子枪工作条件的选择141

2．灯丝形状和温度等状态的选择141

3．真空度的要求142

三、透镜合轴143

1．照明系统合轴143

2．成象系统合轴150

3．照明系统与物镜的合轴152

四、消除象散154

1．聚光镜消除象散154

4．消象散器与透镜的合轴154

2．物镜消除象散156

五、物镜调焦158

六、拍摄显微照片161

1．准备拍片162

2．曝光164

参考文献165

第五章 电子显微镜的安装维护和修理166

一、电子显微镜的安装条件166

1．对房间的要求166

2．对电源的要求168

3．对水源的要求169

4．温、湿度及空气调节170

5．对杂散磁场的要求171

6．对机械振动的要求173

7．照明174

二、电子显微镜的维护174

1．每天使用前的调整174

2．性能检查175

3．真空部件清洗186

4．更换电子枪灯丝191

5．重涂荧光屏194

6．真空泵换油195

7．空压机的维护197

三、电子显微镜的修理197

1．真空故障197

2．调象故障199

参考文献202

第六章 扫描电子显微镜的原理与结构203

一、扫描电子显微镜的成象原理204

1．二次电子205

2．背散射电子207

3．吸收电流208

4．俄歇电子209

5．X射线209

6．阴极荧光210

7．电子-空穴对210

8．透射电子210

二、扫描电子显微镜的基本结构212

1．电子光学系统213

2．扫描系统215

3．信号检测系统218

4．显示系统229

5．样品室和样品台230

6．真空系统231

三、获得高分辨率的条件232

1．电子光学性能232

2．电子束和样品的相互作用235

3．外界干扰235

四、扫描电子显微镜的操作237

1．真空操作237

2．置换样品237

3．选择加速电压，加热灯丝238

4．透镜电流选择238

5．扫描速度的选择239

6．图象的信号增益、衬度和亮度控制241

7．消象散242

8．图象记录243

9．关闭真空243

参考文献243

第七章 电子显微镜样品的制备245

一、样品制备室245

二、载网246

1．载网的质量要求246

2．成型工艺247

3．种类及其应用249

4．铜网的清洗法254

三、支持膜255

1．常见支持膜256

2．高分辨率支持膜263

四、真空镀膜技术在样品制备中的应用268

1．电镜室专用的真空镀膜机268

2．金属的蒸发270

3．铂-碳的蒸发273

4．扫描电子显微镜样品的金属覆盖层274

五、样品制备方法275

1．微粒样品的制备法275

2．复型技术277

3．投影技术283

4．超薄切片286

5．薄膜样品294

6．测定电子显微镜性能的样品298

7．冰冻蚀刻316

8．临界点干燥318

参考文献320

第八章 电子显微镜的暗室技术323

一、暗室设计323

1．结构323

2．通风325

3．照明325

4．洁净326

5．显影台326

6．水洗池327

7．出入口的设计327

8．主要器材328

2．冲洗负片的操作330

二、暗室操作技术330

1．基本流程330

3．印相、放大照片335

4．照相纸的选择341

三、电子显微镜专用的感光片343

1．灵敏度和分辨率343

2．片基344

3．其它特性345

四、常用配方346

1．显影液346

2．定影液348

3停显液349

4．显影液和定影液的保存方法和有效寿命349

参考文献350

第九章 电子衍射351

一、电子衍射的原理及用途351

1．阿贝衍射成象351

2．选择衍射成象353

3．电子衍射技术的应用领域355

二、电子衍射的一些基本方法355

1．透射电子显微镜的电子衍射方法355

2．扫描透射的电子衍射方法361

3．透射和扫描透射混合方法——摇摆束衍射技术364

4．扫描电子显微镜的电子衍射技术366

参考文献371

第十章 电子显微镜的附加装置372

一、防污染装置372

二、倾斜附件374

三、扫描附件379

四、X线能谱元素分析附件（EDX）382

五、象增强附件及电视显示装置385

六、电子能量损失谱附件（EELA）387

七、其它附加装置387

参考文献389

第十一章 电子显微镜的新技术展望390

一、电子显微镜原理及结构上的新技术390

二、电子显微镜应用方面的新技术394

参考文献395

一、透射电子显微镜396

1．DXB2-12型电子显微镜396

附录一 国产电子显微镜性能396

2．DXA4-10型电子显微镜397

3．XDT-10型电子显微镜398

4．DX-201型电子显微镜399

二、扫描电子显微镜400

1．DX-3型扫描电子显微镜400

2．SMDX-1P型微区分析扫描电子显微镜401

3．TSM-Ⅱ型扫描电子显微镜402

附录二 电镜室可考虑的配套设备和其它物品404

1．设备404

2．仪器404

3．手工具404

4．玻璃器皿405

5．试剂、溶剂及油脂等405