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第一章 扫描电子显微镜(SEM)原理1

第一节 基本原理1

第二节 扫描电子显微镜的特点3

第三节 电子光学基本知识5

1.光学折射率及电子光学折射率6

2.透镜8

4.透镜象差15

第二章 扫描电子显微镜的构造23

第一节 概述23

第二节 镜体23

1.电子光学系统23

2.试样室34

3.真空排气系统34

第三节 电源电路系统38

1.高压电源38

2.二次电子加速电源及光电倍增管电源39

3.扫描电源39

4.透镜电源43

第四节 信号检测及放大系统43

1.二次电子检测及放大系统44

2.视频放大系统44

3.图象显示和记录系统44

第五节 扫描电镜仪器实例46

第三章 成象原理54

第一节 电子与物质相互作用54

第二节 图象解释58

1.倾斜效应59

2.原子序数效应61

3.边缘效应62

第三节 图象解释中的几个问题64

1.检测器与试样的相对位置64

2.荷电效应66

3.加速电压效应66

第四节 扫描电镜的主要性能及检测70

1.分辨能力70

2.放大倍数76

3.焦深79

4.畸变81

5.稳定性81

第四章 扫描电镜操作技术及象缺陷的处理84

第一节 电子枪84

1.高压及灯丝加热84

2.发射电流选择84

3.电子束稳定性及灯丝寿命84

第二节 物镜光阑合轴88

第三节 校正象散与调整聚焦89

第四节 图象拍照91

第五节 图象缺陷94

1.图象缺陷起因94

2.象分辨能力低及处理94

3.象质不好的原因及处理办法99

4.象缺陷及处理103

5.图象畸变及变形106

第五章 扫描电镜的多功能化110

第一节 背散射电子检测及成象110

第二节 阴极荧光检测及成象114

第三节 吸收电子(试样电流)检测及成象115

第四节 俄歇电子检测及成象116

第五节 透射电子检测及成象120

第六节 电子通道花样(ECP)122

第七节 特征X射线检测125

1.波谱法125

2.能谱法130

第八节 信号与图象处理144

1.信号加减运算144

2.数字图象处理144

3.у调制144

4.视频调制146

5.Y调制147

6.多种图象表示及不同倍数观察147

第九节 试样的加热、冷却和拉伸148

1.加热观察148

2.低温观察149

3.拉伸观察150

第十节 与扫描电镜有关的仪器152

1.低压扫描电镜152

2.频闪扫描电镜152

3.低能损失扫描电镜153

4.俄歇扫描电镜154

第六章 试样制备技术157

第一节 导电材料试样制备158

第二节 非导电性材料的试样制备158

1.非金属材料试样制备158

2.生物医学材料试样制备161

3.无导电膜非导电性材料试样制备165

第三节 制样设备实例167

第七章 应用171

第一节 在高分子方面的应用171

1.试样制备171

2.电镜观察174

3.应用实例176

第二节 在催化剂方面的应用186

1.催化剂表面观察187

2.催化剂粒度分布测定188

3.沸石结晶过程观察192

第三节 在金属材料方面的应用195

1.断口观察195

2.铸铁201

3.事故、故障分析205

第四节 在石油、地质、矿物方面的应用207

1.在古生物学方面207

2.在生油岩方面209

3.在油气储集层方面210

第五节 在半导体器件及集成电路方面的应用211

1.形貌图象法212

2.电压衬度象法213

3.电子电动势象法214

4.电力束感生电流象法217

第六节 在昆虫学研究中的应用220

1.试样制备221

2.应用实例222

第七节 在生物医学上的应用224

1.脏器225

2.关节及滑膜229

3.皮肤及感觉器官229

4.游离细胞234

5.结石236

主要参考文献237

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