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第一章 历史的回顾1

1.1 仪器原理1

1.2 扫描电子显微镜的早期历史2

1.3 剑桥小组的工作,麦克马伦的显微镜7

1.4 史密斯的电镜9

1.5 扫描透射电子显微镜10

第二章 设计上的基本限制12

2.1 引言12

2.2 入射电子探针的电流密度12

2.3 电子探针电流的波动13

2.4 图象的扫描行数15

2.5 透镜象差18

2.6 最佳孔径角与分辨本领极限20

2.7 d>0.01微米时的近似21

2.8 近似方程组23

第三章 扫描电镜的组成26

3.1 电子枪26

3.2 电子透镜57

3.3 扫描系统81

3.4 信号电流的接收和放大95

3.5 真空系统119

3.6 显象单元120

3.7 仪器整体121

第四章 电子与固体的相互作用123

4.1 引言123

4.2 电子在固体内的射程130

4.3 背散射电子137

4.4 电荷和能量的分布143

4.5 二次电子发射145

4.6 试样的充电153

第五章 反差和分辨本领156

5.1 反差156

5.2 立体操作169

5.3 分辨率171

参考文献175

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