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第一章 扫描隧道显微镜 姚骏恩1

一、引言1

目录1

二、原理2

三、仪器描述及几个关键技术问题3

(一)样品和针尖间距的粗调和细调5

(二)三维扫描和控制器件5

(三)针尖的制备6

(四)减震阻尼系统6

(五)电子学控制、微机采样及图像处理系统7

四、性能指标和验收9

五、选购知识10

六、仪器进展13

七、应用13

参考文献15

二、电镜工作原理和电镜构造16

(一)电镜工作原理16

一、电子显微镜技术发展简史16

第二章 透射电子显微镜 黄孝瑛16

(二)电磁透镜17

(三)电镜的构造17

(四)电镜性能及其发展动向24

三、电镜图像类型和分析电子显微术25

四、分辨本领和放大倍数的测定27

(一)分辨本领的测定28

(一)选购电镜的一般考虑29

五、电镜选购、安装与验收29

(二)放大倍数的测定29

(二)电镜安装的一般要求30

(三)震动30

(四)环境磁场31

(五)电源31

六、电子显微镜技术的应用33

参考文献33

第三章 扫描电子显微镜 谢信能、张存珪34

一、引言34

(二)图像反差、分辨率和景深35

(一)图像的形成和放大倍数35

二、基本原理35

三、仪器结构及各部件的作用36

(一)电子枪37

(二)磁透镜及像差38

(三)三级缩小系统39

(四)扫描系统40

(五)信号接收系统40

(六)真空系统41

四、性能测试41

五、仪器种类、常用附件及今后发展43

六、订货原则及安装要求49

七、应用49

参考文献52

第四章 电子探针X射线微区分析仪 王文瑛53

一、引言53

二、电子探针微区分析原理53

(一)X射线晶体分光光谱法(X射线波谱法)54

(二)X射线能谱法54

(一)电子光学系统55

三、电子探针的基本结构55

(二)X射线晶体分光、测量和记录系统57

(三)图像信号检出、显示单元58

(四)光学显微镜58

(五)样品室和样品台微动装置58

(六)电子计算机自动控制和数据处理系统58

(七)真空系统58

(二)验收指标及测试方法59

(一)验收项目59

四、性能测试与验收59

(八)电源系统与冷却系统59

五、选购仪器需知64

六、电子探针的应用67

参考文献69

第五章 图像处理和图像分析 章一鸣70

一、引言70

二、图像的数字化70

三、图像的采集71

(一)点处理72

四、图像处理72

(二)空间邻域处理74

(三)几何处理75

(四)多幅图像处理75

五、图像分析76

六、更为先进的图像处理功能78

(一)快速傅立叶变换(FFT)78

(二)由一组二维截面图像重建三维立体图78

(三)三维立体测量78

(四)颗粒边界重建79

(五)凝聚球体的分解79

七、图像处理系统的分类79

第六章 X射线波谱仪 姚文浩82

一、引言82

二、X射线波谱仪的原理82

(一)结构原理83

(二)波谱仪机构中的重要部件84

(一)X射线波谱仪与扫描电镜的配接方式92

三、X射线波谱仪仪器92

(二)X射线波谱仪的主要性能指标93

(三)X射线波谱仪的进展和用户须知94

(四)安装验收95

四、X射线波谱仪的使用98

参考文献98

第七章 X射线能谱仪 章一鸣99

一、引言99

二、特点与局限性100

三、X射线能谱的形成102

四、定性分析和定量分析103

五、生产X射线能谱仪的主要公司及其型号104

六、展望106

(一)不使用液氮的探测器106

(二)提高探测器的能量分辨率106

(三)提高探测灵敏度107

(四)发展成为综合性显微分析仪107

七、对用户的几点建议107

参考文献109

八、X射线能谱仪的安装与验收109

第八章 离子减薄仪 李树强110

一、引言110

二、离子轰击减薄技术的基本原理110

三、仪器的基本结构111

(一)样品室112

(二)真空系统112

四、仪器的技术条件113

(三)供电及控制系统113

五、离子减薄技术的应用114

(一)实验条件的选择及其对样品质量的影响114

(二)离子减薄技术的应用及样品的制备程序116

六、结语118

第九章 临界点干燥仪 卢宝廉119

一、引言119

二、工作原理119

三、LG-1型临界点干燥仪主要技术参数120

五、样品制备操作程序121

四、种类、型号及产地121

六、仪器使用方法(以LG-1型为例)123

七、保养与故障维修(以LG-1型为例)124

八仪器附件(以LG-1型为例)125

九、应用范围126

参考文献127

第十章 超薄切片机及有关设备 乔宝义128

一、引言128

二、超薄切片机129

三、冰冻切片系统132

四、快速冷冻固定设备134

五、冷冻替换器136

六、样品包埋处理器137

七、玻璃制刀机137

八、钻石刀138

九、结束语138

第十一章 冷冻蚀刻技术及仪器 鲁崎唔140

一、冷冻蚀刻技术的特点140

二、冷冻蚀刻技术、制样步骤、原理及要求140

三、商品冷冻蚀刻仪简介143

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