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引言1

第一章扫描电镜原理和结构概述3

一、显微镜的发展现状3

二、入射电子与物质相互作用6

(一)散射现象7

(二)入射电子和原子核的相互作用9

(三)入射电子和核外电子的相互作用11

(四)入射电子和晶格相互作用17

(五)入射电子和晶体中电子云相互作用17

(六)周期脉冲电子入射的电声效应19

(七)总结21

三、工作原理和仪器结构23

(一)工作原理23

(二)真空系统28

(三)电子枪系统29

(四)透镜系统30

(五)扫描控制系统34

(六)样品室36

(七)检测放大系统37

(八)信号处理和成象显示40

(一)成象的等效几何关系51

四、扫描电镜的成象特点和性质51

(二)透视学上的伸长缩短效应53

(三)逐点成象和象元的概念54

五、构成扫描图象质量的因素和控制56

(一)象元的数目56

(二)信噪比57

(三)分辨率59

(四)焦深63

(五)反差64

六、扫描电镜的特点和分析模式66

(一)特点66

(二)分析模式69

七、近代扫描电镜的发展和展望71

(一)高分辨场发射扫描电镜72

(二)高分辨分析扫描电镜73

(三)高分辨低压扫描电镜(LVSEM)73

(四)数字扫描电镜(DSEM)74

(五)频闪扫描电镜(Strobo-SEM)75

(六)环境扫描电镜(ESEM)76

(七)应用技术76

(八)展望76

参考文献78

一、概述80

第二章扫描电子象的衬度效应来源80

二、基本关系和定义81

(一)电子信息强度与入射电子强度的关系81

(二)二次电子系数和背反射电子系数84

(三)影响二次电子系数的因素86

(四)影响背反射电子系数的因素89

(五)描述信号电流的基本关系式91

三、二次电子象93

(一)基本定义和性质93

(二)几何衬度96

(三)电压(或电场)衬度99

(四)磁畴衬度(第一类磁衬度)101

四、背反射电子象103

(一)基本定义和性质103

(二)几何衬度105

(三)物质衬度(原子序数衬度)108

(四)磁畴衬度(第二类磁衬度)110

(五)结晶学位向衬度112

五、其它成象模式114

(一)试样电流象114

(二)感生电流象115

(三)低损失电子象116

(四)阴极发光象117

六、总结119

参考文献121

第三章扫描电镜的立体分析技术122

一、概述122

二、立体摄影术原理123

(一)体视效应123

(二)拍摄立体对照片的方法124

(三)注意事项127

三、立体对照片的复合观察129

(一)基本原则129

(二)在平移试样法的情况下130

(三)在倾斜试样法的情况下131

四、立体几何参数分析技术132

(一)基本原理132

(二)平移试样法134

(三)倾斜试样法136

五、总结和展望142

参考文献143

第四章扫描电镜的结晶学分析技术145

一、概述145

(一)电子通道效应现象146

二、电子通道花样分析技术(ECP)146

(二)电子通道效应的理论解释150

(三)获得电子通道花样的电子光学条件152

(四)电子通道花样的测量和分析156

(五)应用160

三、电子背散射花样分析技术(EBSP)162

(一)电子背散射角分布的各向异性162

(二)获得电子背散射花样的仪器条件165

(三)电子背散射花样的结晶学注释166

四、反射电子衍射技术(RED)168

(一)掠入射电子的表面衍射现象168

(四)应用168

(二)获得反射电子衍射的仪器条件169

(三)反射电子衍射花样的分析170

(四)应用170

五、X射线柯塞尔花样分析技术(XKP)171

(一)晶体对发散X射线束的衍射效应171

(二)获得X射线柯塞尔花样的实验条件173

(三)X射线柯塞尔花样的测量和分析174

(四)应用176

六、各种结晶学分析技术的评价176

参考文献178

一、概述180

第五章扫描电镜的成分分析技术180

(一)基本原理182

二、X射线波谱分析(WDS)182

(二)X射线波谱分析系统的结构和组成183

(三)分析模式187

(四)分析试验中一些问题189

三、X射线能谱分析(EDS)196

(一)基本原理196

(二)X射线能谱分析系统的结构和组成199

(三)分析试验中一些问题206

(一)基本原理和分析特点214

四、X射线荧光谱分析(XFS)214

(二)在样品室中X射线源的设计216

(三)最佳工作条件的选择217

(四)分析结果实例218

五、应用220

参考文献221

第六章扫描电镜在摩擦磨损学科研究方面的应用222

一、概述222

二、有关实验技术224

(一)二次电子象的观察方法224

(二)Y调制象的应用229

(三)磨损表面的保存和清洗232

(四)磨屑的收集、分散和固定方法233

(五)斜剖面技术237

(六)表面轮廓的定性分析和定量测量243

(七)表面的元素组成和价态分析248

三、扫描电镜在粘着磨损问题中的应用252

(一)有关基本概念252

(二)粘着磨损的影响因素256

(三)粘着磨损的显微分析258

(一)基本概念262

四、扫描电镜在磨料磨损问题中的应用262

(二)磨料磨损的影响因素266

(三)磨料磨损表面的微观形态和分析267

五、扫描电镜在疲劳磨损问题中的应用276

(一)基本概念276

(二)疲劳磨损的影响因素281

(三)疲劳磨损的表面形态特征和分析283

六、扫描电镜在机械零件磨损分析方面的应用290

(一)在钻头磨损分析中的应用290

(二)在车刀磨损分析中的应用298

(三)在轧辊磨损分析中的应用307

七、在磨损失效分析方面的应用概要315

参考文献317

第七章扫描电镜在腐蚀学科研究方面的应用318

一、概述318

二、有关实验技术325

(一)实物试样的表面处理技术325

(二)蚀坑分析技术330

(三)表面特征痕迹分析技术341

(四)断裂面的表面应变分析技术346

三、分析晶间腐蚀354

(一)基本知识354

(二)晶间腐蚀的微观形态特征和分析357

四、分析应力腐蚀断裂机制360

(一)有关基本知识360

(二)断口的形态特征和分析367

五、分析氢致开裂机制379

(一)基本知识379

(二)断口的形态特征和分析386

六、分析腐蚀疲劳断裂机制397

(一)基本知识397

(二)断口的形态特征和分析403

参考文献408

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