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第一章 扫描电镜的基本原理1

一、什么是扫描电镜1

二、入射电子与物质的交互作用2

三、扫描电镜的工作原理8

3.1 扫描电镜的基本结构8

3.2 成像系统流程10

3.3 描述电子束的基本参数11

四、扫描电子像的成像性质13

4.1 成像的等效几何关系13

4.2 衬度效应来源15

4.3 影响扫描电子像质量的因素18

五、扫描电镜的特点和应用前景21

5.1 扫描电镜的特点21

5.2 扫描电镜的应用前景24

六、小结26

参考文献27

第二章 晶体中的电子通道效应及其机制28

一、电子通道花样的发现经过及其基本性质28

二、定性模型--双光束模型31

三、FB模型--多光束模型32

四、多重散射模型--蒙特卡罗方法36

五、电子多重散射的传输模型39

六、小结44

参考文献45

第三章 观察电子通道花样的最佳光路设计和实验指导46

一、观察电子通道效应的条件和类型46

1.1 观察电子通道效应的电子光学必要条件46

1.2 电子通道效应的成像类型47

1.3 各种图像观察条件的比较49

二、基本的电子光学光路和控制参数50

三、标准扫描光路53

四、选区扫描光路56

五、实验指导58

5.1 试样条件58

5.2 扫描电镜的工作条件60

5.3 获得电子通道花样的实验程序62

六、小结64

参考文献66

第四章 电子通道花样的成像几何关系分析67

一、有关定义和基本概念67

1.1 电子束的扫描方式和成像关系67

1.2 等效投射距离69

1.3 等效几何关系70

二、普遍几何关系式推导71

三、描述电子通道带宽度的基本关系75

3.1 普遍关系75

3.2 通道带宽W和衍射角θ1的关系76

3.3 通道带宽和测量位置的关系78

四、描述电子通道带间夹角的基本关系79

五、各种立方晶体的理想电子通道图82

5.1 基本概念82

5.2 绘制理想电子通道图的方法和步骤83

5.3 理想电子通道图的性质和运用85

六、小结89

参考文献90

第五章 电子通道花样的测量和注释91

一、测量的意义和内容91

2.1 投射原点位置的确定92

二、电子通道花样的几何测量92

2.2 晶带轴极点位置的确定93

2.3 等效投射距离的确定94

2.4 电子通道带间角度关系的测量问题97

2.5 电子通道带宽度的测量98

三、电子通道花样的衬度测量101

3.1 真实衬度测量101

3.2 本征衬度的相对测量--临界电流法102

四、电子通道花样的结晶学注释104

4.1 结晶学注释的目的和意义104

4.2 比较法104

4.3 解析法105

4.4 相似原理分析法110

五、电子通道带和晶面投射极点的关系116

六、小结123

参考文献124

第六章 电子通道显微术125

一、结晶学衬度和电子通道显微术125

1.1 什么叫做结晶学衬度125

1.2 产生结晶学衬度的简单模型126

1.3 电子通道显微像的基本性质126

二、电子通道显微术的观察条件和光路128

2.1 必要条件128

2.2 标准扫描光路129

2.3 单偏转摇摆欠聚焦扫描光路129

2.4 两种光路的应用比较131

三、多晶材料的电子通道显微像131

4.1 晶体缺陷的成像原理135

四、晶体缺陷的直接观察135

4.2 观察晶体缺陷条件的分析137

五、小结138

参考文献139

第七章 电子通道效应的叠加效应--奇异花样140

一、奇异花样的发现经过140

二、奇异花样的几何特征和结晶学性质144

三、奇异花样的衬度效应来源和定性分析144

四、展望149

参考文献150

第八章 电子通道分析技术在材料科学中的应用151

一、应用原理151

二、入射电子探针能量的测定152

三、晶体中位错密度的测定155

4.1 单晶位向分析157

四、在结晶学分析方面的应用157

4.2 多晶位向分析159

4.3 孪晶位向分析160

4.4 两相位向分析161

4.5 晶界位向分析163

4.6 晶格常数的测定166

4.7 小结166

五、在表面科学研究方面的应用167

六、在辐照损伤研究方面的应用168

七、在塑性变形研究方面的应用170

八、在断裂研究方面的应用173

九、在相变研究方面的应用175

十、展望176

参考文献177

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