《离子注入机基础》求取 ⇩

目录1

第一章绪论1

第一节离子注入技术及其对离子注入机的要求1

第二节离子注入机的结构和类型5

第三节离子注入机的发展状况11

第二章离子源16

第一节离子源的要求和类型16

第二节气体放电的物理基础19

第三节离子束从等离子体中的引出27

第四节双等离子体离子源40

第五节潘宁源和尼尔逊源44

第六节弗利曼型离子源50

第七节高温中空阴极源54

第八节高频离子源58

第九节离子源参数的测量69

第十节离子源结构材料和工作物质73

第三章离子束的聚焦88

第一节轴对称电场的离子光学性质88

第二节离子光学与光线光学的一致性92

第三节静电透镜的工作特性98

第四节等梯度加速管106

第五节四极透镜112

附录静电透镜的光学特性124

第一节磁分析器的结构和带电粒子在磁场中的运动158

第四章质量分析器158

第二节单向聚焦的磁质量分析器161

第三节双向聚焦的磁质量分析器166

第四节延伸边缘场效应174

第五节质量分辨率184

第六节磁分析器设计举例187

第七节正交电磁场分析器191

第五章带电粒子束的传输202

第一节相空间和刘维定理在束流传输中的应用202

第二节在束流传输中发射相图的变化208

第三节椭圆方程和束流传输的状态方程211

第四节束流传输中的束包络214

第五节“腰——腰”传输223

第六节束流光学与离子成象光学的一致性230

第七节接受相图和束流传输的匹配233

第八节空间电荷效应概述243

第六章真空系统和注入机的终端设备249

第一节离子注入机真空系统概述249

第二节离子束的扫描256

第三节注入靶室264

第四节离子注入机几个主要参数的测量267

第七章注入机的电器设备276

第一节高压稳压电源277

第二节磁分析器稳流电源293

第三节扫描电路300

第四节电流积分仪310