《VLSI工艺技术 超大规模集成电路工艺技术》
| 作者 | 金德宣，李宏扬主编 编者 |
|---|---|
| 出版 | 半导体技术编辑部 |
| 参考页数 | 483 |
| 出版时间 | 1985（求助前请核对） |
| ISBN号 | 无 — 求助条款 |
| PDF编号 | 89216408（仅供预览，未存储实际文件） |
| 求助格式 | 扫描PDF（若分多册发行，每次仅能受理1册） |
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