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第5篇　生产环境控制技术3

第1章 电子工业的生产环境3

1.1 生产环境3

目录3

1.1.1 空气4

1.1.2 人身4

1.1.3　水5

1.1.4　各种气体6

1.1.5　化学试剂7

1.1.6　工具及器具8

1.1.10　人-机关系10

物质10

1.2 影响产品生产的污染10

1.1.9　工作环境10

1.1.8　机械能量10

1.1.7　电磁环境10

1.2.1　微粒杂质11

1.2.2　无机离子杂质14

1.2.3　有机物质16

1.2.4　微生物16

1.2.5　气体杂质18

1.2.6　空气的温度与湿度19

1.2.7 电磁噪声20

1.2.8　静电20

1.2.1　0噪声21

1.2.9　振动21

1.3 电子产品生产对生产环22

境的要求22

1.3.1 对厂址选择与厂区布置的要求22

1.3.2 对空气环境的要求23

1.3.3　对纯水的水质要求27

1.3.4　对常用气体纯度的要求28

1.3.5　对室内人工照明照度的要求30

第2章　空气环境控制32

2.1 空气洁净度等级32

2.2 空气中的尘粒35

2.2.1　室外大气尘粒35

2.2.2 洁净室内空气中的尘粒36

2.3 空气洁净度的控制37

2.3.1 洁净空间的型式37

2.3.2　空气净化方法38

2.3.3　气流组织42

2.3.4 洁净室43

2.4 空气温、湿度的控制64

2.4.1　控制方式的选择64

2.4.2　常用净化空调系统64

2.4.3　调节方法66

2.5　空气净化装置及附件77

2.5.1 常用空气过滤器77

2.5.2　净化空调器84

2.5.3　局部净化设备85

2.5.4　装配式洁净室89

2.5.5　装配式洁净隧道91

2.5.6　辅助设备及附件92

2.6　洁净室的测定94

2.6.1　风量的测定95

2.6.2　风速和气流流型的测定96

2.6.3　温、湿度的测定97

2.6.4　正压值的测定97

2.6.5　洁净度的测定98

2.6.6　噪声的测定102

2.7.2　清扫103

2.7.1　洁净室内的尘源管理103

2.7 维护管理103

2.7.3　空气环境参数的监测104

2.7.4　净化空调系统的运行管理105

2.7.5　高效过滤器的更换105

2.7.6　安全技术107

第3章　人身净化108

3.1 人员的发尘量108

3.1.1　人员的发尘量及其污染程度108

3.1.2　洁净服的发尘量111

3.1.3　洁净服内着装对发尘量的影响111

净化处理112

3.2.1　净化处理的方法112

3.2 人员进入洁净生产环境前的112

3.2.2　吹淋室113

3.3 洁净服116

3.3.1 衣料116

3.3.2　型式116

3.3.3　制作119

3.4　维护管理119

3.4.1　洁净服的清洗119

3.4.2　洁净服的检验120

3.4.3　对洁净生产环境中工作人120

员的要求120

3.4.4　进入洁净生产环境的注意事项120

3.4.6　在洁净室内活动的注意事项121

3.4.5　走出洁净生产环境的注意事项121

第4章　纯水的制取与输送122

4.1 纯水的分类与水质指标122

4.1.1　纯水的分类122

4.1.2　水的电阻率及其换算123

4.2 纯水系统125

4.2.1　纯水制取系统125

4.2.2　一级纯水系统126

4.2.3　二级纯水系统128

4.2.4　电子工业常用纯水系统129

4.2.5　反渗透的设置130

4.2.6　纯水的分配、循环和回收130

4.3.1　离子交换树脂133

4.3 离子交换技术133

4.3.2　脱盐与再生134

4.3.3　离子交换装置137

4.3.4　离子交换装置设计140

4.4　膜分离技术142

4.4.1　反渗透143

4.4.2　超过滤149

4.4.3　微孔膜过滤151

4.4.4 电渗析153

4.5　其它处理技术155

4.5.1　凝聚澄清155

4.5.2　过滤156

4.5.3 吸附法157

4.5.4 软化158

4.5.5　脱气158

4.5.6　杀菌159

4.6　纯水站160

4.6.1 纯水站的组成及其布置160

4.6.2　对有关专业的要求161

4.6.3　纯水站的配置161

4.7　纯水系统的维护管理162

4.7.1　原水水质资料及其复核162

4.7.2　预处理设备的管理165

4.7.3　反渗透设备的管理165

4.7.4　电渗析设备的管理167

4.7.5　离子交换树脂的处理169

4.7.6　纯水系统的杀菌170

4.7.7　纯水系统的安装与维护171

4.8　纯水水质的检测172

4.8.1　电阻率172

4.8.2　微粒172

4.8.3　微生物173

4.8.4　有机物174

第5章　纯气的制取与输送175

5.1 纯气的分类及纯度指标175

5.2　常用气体的纯化方法177

5.2.1　氢气的纯化177

5.2.2　氮气的纯化192

5.2.3　氧气的纯化198

5.2.4　氩气的纯化200

5.3　气体过滤203

5.3.1　气体过滤器的种类203

5.3.2　气体过滤器的选择203

5.3.3　过滤材料206

5.4 气体纯化系统的辅助设施208

5.5　纯气供应方式211

5.5.1　气体钢瓶供应系统211

5.5.2　液态气体供气系统212

5.5.3　现场制气装备、管道供气212

5.5.4　供气方式的选择213

5.6.2　纯化站的设置214

5.6　气体纯化站214

5.6.1　基础资料214

5.6.3　纯化站平面布置215

5.6.4　设备选型215

5.6.5　对有关专业的要求218

5.7　纯气的输送220

5.7.1 输送系统的设置要点220

5.7.2　输送系统的材料221

5.7.3　材料的清洗223

5.7.4　管道的连接224

5.8　气体的检测225

5.8.1　气相色谱法226

5.8.2　微量氧分析228

5.8.3　微量水分的测定228

5.8.4　微粒的测定231

5.9 维护与管理231

5.9.1　纯气系统的维护231

5.9.2　纯化设备的维护232

5.9.3　安全技术233

6.1.3　洁净生产用工具及器具234

6.1.2　化学处理用工具及器具234

6.1.5　其它物料234

6.1.4　金属物料234

分类234

6.1 工具、器具及物料的234

第6章　工具、器具及物料的净化234

6.1.1　加热用工具及器具234

6.2　净化方法235

6.2.1 一般要求235

6.2.2　常用清洗液的性质及其去污机理235

6.2.3　常用工具、器具的净化方法238

6.2.4　物料的净化241

6.2.5　操作安全要点241

6.3.1　贮存柜242

6.3.3　手套及指套242

6.3.2　容器242

管理242

6.3　制品的贮存、输送及242

6.3.4　传送和运输243

第7章　电磁环境控制244

7.1 电磁环境工程244

7.1.1 电磁环境244

7.1.2　电磁干扰244

7.1.3　强电磁环境245

7.2　环境电噪声245

7.2.1　环境电噪声的分类245

7.2.2　高压电力线干扰噪声246

7.2.3　电气化铁道干扰噪声250

7.2.4　高频加热设备干扰噪声251

7.2.5　大功率发射机干扰噪声253

7.3.1　干扰波感应256

7.3 干扰波的感应与辐射256

7.3.2　干扰波辐射257

7.3.3 微波天线近场区辐射功率259

密度259

7.4 电磁环境控制原理262

7.4.1 电磁环境的控制途径262

7.4.2 电磁屏蔽263

7.4.3 电波吸收材料272

7.5 强电磁辐射的防护273

7.5.1 强电磁辐射273

7.5.2 辐射危害界限电平推荐值274

7.5.3 强电磁辐射防护276

7.6 屏蔽室279

7.6.1 屏蔽室的类型279

7.6.2 屏蔽室的选择280

7.6.3 P-22型双层金属网可拆卸式屏蔽室280

7.6.4 PB-80系列单层钢板可拆卸式屏蔽室280

7.6.5 屏蔽室的设置280

7.7 电磁环境测量283

7.7.1　环境电噪声测量283

7.7.2　强电磁辐射测量284

7.7.3　屏蔽室屏蔽效能的测量284

8.1.1　起电机理287

消散287

8.1 静电的产生、积累与287

第8章　静电防护287

8.1.2　静电积累与消散288

8.2 静电效应和危害291

8.2.1　静电的效应291

8.2.2　静电的危害292

8.3 静电的消除296

8.3.1　消除方法296

8.3.2　静电防护措施302

8.4 静电测量303

8.4.1 静电测量的特点303

8.4.2　测量仪表303

8.4.3　容器中液体电位的测量304

第9章　环境振动的控制306

9.1 环境振动306

9.1.1　地面脉动306

9.1.2　人类活动的干扰振动306

9.2 精密设备的容许振动312

9.3 隔振材料及隔振器314

9.3.1　软木315

9.3.2　海绵乳胶316

9.3.3　橡胶隔振器317

9.3.4　金属弹簧隔振器319

9.3.5　空气弹簧及其隔振装置320

9.4 隔振措施322

9.4.1　隔振措施分类322

9.4.2　积极隔振325

9.4.3　消极隔振333

第6篇　环境保护343

第1章　电子工业环境保护343

1.1 环境保护的方针和任务343

1.2 污染物的来源和危害344

1.2.1　环境污染源344

1.2.2　水质污染的危害346

1.2.3　大气污染的危害347

1.2.4　废液、废渣的危害347

1.2.5　振动和噪声的危害348

1.2.6　电磁辐射和激光辐射的危害348

1.3.1　环境保护法规349

1.3 环境保护法规与管理机构349

1.3.2　污染治理的管理与监测353

第2章　废水处理355

2.1 电子工业废水的种类355

2.1.1　废水中主要有害物质及来源355

2.1.2　废水的分类355

2.2 废水处理的基本工艺357

2.2.1　混凝357

2.2.2　中和357

2.2.3　氧化、还原361

2.2.4　化学沉淀365

2.2.5　铁氧体共沉369

2.2.6　离子交换371

2.2.7　电解376

2.2.8　吸附379

2.2.9　浮选380

2.2.10　过滤381

2.2.11　生化处理383

2.3 污泥处置384

2.3.1　污泥浓缩384

2.3.2　污泥脱水机械385

2.3.3　污泥的处理和利用387

2.4 废水处理装置的选择与计算387

2.4.1 调节池387

2.4.2　混合、反应池（槽）388

2.4.4　沉淀池（槽）389

2.4.3　絮凝池（槽）389

2.4.5　离子交换装置393

2.4.6　非金属耐腐蚀材料的选择394

2.5 电子工业废水处理系395

统及实例395

2.5.1　彩色显像管总装工厂废水处理395

2.5.2　荧光粉工厂废水处理397

2.5.3 显像管玻璃工厂研磨废水处理399

2.5.4　彩色显像管荫罩工厂废水处理399

2.5.5　印刷电路板工厂废水处理401

2.5.6　含氰、含铬电镀废水处理403

2.5.7　电镀废水处理（槽内处理法）404

2.5.8　电镀废水综合处理405

处理406

2.5.9　集成电路工厂芯片废水的406

2.5.10 水力清砂废水处理407

2.5.11 油裂解煤气废水处理408

2.6 废水处理系统的维护管理410

2.6.1 监测410

2.6.2 维护管理411

治理要求413

3.1.1 废气的种类413

3.1.2 废气的危害413

3.1 废气的种类、危害和413

第3章 废气治理413

3.1.3 废气的治理要求416

3.2 废气的排除417

3.2.1 排风方式417

3.2.2 排风装置421

3.3 废气除尘427

3.3.1 粉尘和除尘器427

3.3.2 各类粉尘的净化430

3.4 有害气体的净化434

3.4.1 液体吸收法434

3.4.2 其他气体净化法440

3.4.3 各种有害气体的净化444

3.5.1 废气的综合治理措施453

3.5 废气的综合治理453

3.5.2 废气的就地收集454

3.5.3 废气的大气稀释456

3.5.4 废气治理设备的维护管理457

第4章 烟尘的防治458

4.1 烟尘污染及危害458

4.1.1 烟尘污染及来源458

4.1.2 烟尘的危害459

4.2 烟尘污染的防治460

4.2.1 尘粒的防治460

4.2.2 有害气体的防治460

4.2.3 黑烟的防治466

4.3.1 分类468

4.3 除尘装置468

4.3.2 常用除尘装置470

4.4 除尘装置的选用482

4.4.1 除尘装置的选用原则482

4.4.2 烟气中尘粒的特性482

4.4.3 烟气的性质及其变化485

4.4.4 除尘装置的选用步骤486

4.5 除尘装置的维护管理487

4.5.1 除尘装置的运行487

4.5.2 常用除尘装置的维护管理487

4.6 除尘装置性能的监测490

4.6.1 烟气特性的测定490

4.6.2 烟尘浓度的测定494

4.6.3 除尘装置性能的测试495

5.1 废液、废渣的来源与危害498

第5章 废液、废渣的回收及处置498

5.2 废液的回收及处置499

5.2.1 含氰废液499

5.2.2 含铬废液502

5.2.3 含重金属废液505

5.2.4 含贵金属废液513

5.2.5 含酸碱废液517

5.2.6 电池废液518

5.2.7 印制电路版腐蚀液的再生518

5.2.8 彩色显像管荫罩腐蚀液的再生519

5.2.10 电泳漆液的再生520

5.2.9 荧光粉浆液的回收及再生520

5.3 废渣、废料的利用及处置521

5.3.1 电镀废渣521

5.3.2 酸性蓄电池废料521

5.3.3 碱性蓄电池废料522

第6章 噪声控制523

6.1 声的基本物理量及其噪声源523

6.1.1 声的基本物理量523

6.1.2 噪声的频谱524

6.1.3 A声级525

6.1.4 声压级的叠加526

6.1.5 噪声源526

6.2.1 声源的噪声控制530

6.2 噪声控制方法530

6.2.2 传播途径中的噪声控制531

6.2.3 个人防护531

6.3 隔声531

6.3.1 隔声原理531

6.3.2 隔声量的计算532

6.3.3 隔声室（间）533

6.3.4 隔声罩533

6.3.5 隔声屏534

6.3.6 隔声结构的选择536

6.4 吸声536

6.4.1 吸声量的计算536

6.4.2 吸声材料及结构537

6.4.3 吸声结构的选择及布置原则539

6.5 消声539

6.5.1 消声器的种类及特点540

6.5.2 消声器的性能543

6.5.3 消声器类型的选择544

6.6 隔振545

6.6.1 隔振与减少噪声的关系545

6.6.2 隔振元件及隔振系统的选择546

6.6.3 减振（振动阻尼）547

6.7 噪声的测定548

6.7.1 测量仪器548

6.7.2 测量方法549

6.7.3 等效A声级的计算550