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目录3

第1篇 电真空材料3

第1章 难熔金属3

1.1 钨4

1.1.1 钨的物理性质4

1.1.2 钨的化学性质13

1.1.3 钨的机械性能14

1.1.4 含氧化物添加剂的钨丝18

1.1.5 钨合金21

1.1.6 钨及其合金的牌号和应用24

1.2 钼25

1.2.1 钼的物理性质26

1.2.2 铝的化学性质28

1.2.3 钼的机械性能30

1.2.4 含氧化物添加剂的钼34

1.2.5 钼合金35

1.2.6 钼及其合金的牌号和应用38

1.3 钽和铌39

1.3.1 钽、铌的物理性质39

1.3.2 钽、铌的化学性质41

1.3.3 钽和铌的机械性能43

1.3.4 钽-铌合金45

1.3.5 钽、铌及其合金的牌号和49

应用49

1.4 钛、锆、铪50

1.4.1 钛50

1.4.2 锆59

1.4.3 铪61

1.5 铼63

1.5.1 铼的原子、晶体结构性质63

1.5.2 铼的热性质63

1.5.4 铼的化学性质64

1.5.3 铼的电磁性质64

1.5.6 铼的用途65

1.5.5 铼的机械性能65

第2章 非难熔金属67

2.1 铁和钢67

2.1.1 纯铁的成分、用途和性能67

2.1.2 电真空技术中常用的钢71

2.1 镍及其合金86

2.2.1 镍的特性87

2.2.2 阴极用镍及其合金91

2.2.3 其它几种常用的镍合金100

2.3 铜及其合金104

2.3.1 纯铜104

2.3.2 黄铜114

2.3.3 青铜115

2.4.1 铝的物理、机械性能119

2.4 铝及其合金119

2.4.2 铝的化学性能120

2.4.3 铝的工艺性能121

2.4.4 真空技术中常用的铝及其合金121

2.4.5 应用126

2.5 膨胀合金127

2.5.1 铁磁性膨胀合金127

2.5.2 非铁磁性膨胀合金137

第3章 焊料141

3.1 电真空器件对焊料的基141

本要求141

3.2 常用电真空焊料的分类142

3.2.1 钯系焊料142

3.2.2 金系焊料142

3.2.3 银系焊料142

3.2.5 其它焊料143

3.2.4 铜系焊料143

3.3 常用电真空焊料性能图、144

表汇编144

第4章 其它金属材料162

4.1 贵金属及其合金162

4.1.1 贵金属的性能162

4.1.2 贵金属及其合金的应用168

4.2 金属粉末170

4.3 复合材料173

4.3.1 封接用复合材料173

4.3.2 电极用复合材料175

4.3.3 其它复合材料176

第5章 磁性材料179

5.1 软磁材料179

5.1.1 软磁材料的磁性能179

5.1.2 常用的软磁材料180

5.1.3 磁温度补偿合金188

5.2 永磁材料189

5.2.1 永磁材料的特性与分类189

5.2.2 微波电子管中常用的永磁材料191

5.3 超导磁体200

5.3.1 超导现象与物理概念200

5.3.2 实用的超导材料和使用202

条件202

5.3.3 超导磁体电流供电方法204

5.3.4 超导材料的应用204

第6章 电真空陶瓷207

6.1 氧化物瓷207

6.1.1 氧化铝瓷207

6.1.2 氧化铍瓷209

6.1.3 透明瓷211

6.2.1 滑石瓷212

6.2 硅酸盐瓷212

6.1.4 其它氧化物瓷212

6.2.2 镁橄榄石瓷215

6.2.3 硅灰石瓷215

6.2.4 锆英石瓷215

6.3 氮化物瓷215

6.4 其它电真空用瓷217

6.4.1 衰减瓷217

6.4.2 可切削瓷218

6.5 电真空瓷的物理性能219

6.5.1 真空性能219

6.5.2 热性能220

6.5.3 电性能224

6.5.4 机械性能230

6.6 电真空瓷的化学性能232

6.6.1 与气体的反应232

6.5.5 其它性能232

6.6.2 与液体的反应233

6.6.3 与固体的反应233

第7章 电真空玻璃234

7.1 电子管玻璃235

7.1.1 钨组玻璃235

7.1.2 钼组玻璃235

7.1.3 铂组玻璃235

7.2.1 黑白显象管玻璃238

7.1.4 钢组玻璃238

7.2 显象管玻璃238

7.2.2 彩色显象管玻璃240

7.3 焊料玻璃243

7.3.1 焊料玻璃的某些特性243

7.3.2 易熔焊料玻璃245

7.3.3 难熔焊料玻璃248

7.4 微晶玻璃249

7.3.4 中间玻璃249

7.4.1 微晶玻璃的分类250

7.4.2 微晶玻璃的性能252

7.4.3 热敏微晶玻璃253

7.4.4 光敏微晶玻璃253

7.4.5 特种微晶玻璃255

7.5 石英玻璃260

7.5.1 石英玻璃的分类260

7.5.2 石英玻璃的生产工艺特点261

7.5.3 石英玻璃的性能262

7.5.4 特种石英玻璃267

第8章 其它介质材料270

8.1 云母270

8.1.1 云母的组成和结构270

8.1.2 云母的性质271

的应用276

8.1.3 天然云母及合成云母制品276

8.2 金刚石277

8.2.1 类型277

8.2.2 化学成分及杂质氮278

8.2.3 化学物理性能278

8.2.4 人造金刚石、人造多晶金282

刚石衰减材料282

8.2.5 应用282

8.3 人造蓝宝石284

8.3.1 人造蓝宝石的特性284

8.3.2 人造蓝宝石单晶的生长287

方法287

8.3.3 人造蓝宝石的应用289

8.4 碳及石墨制品290

8.4.1 碳和石墨材料的物理性能291

8.4.2 碳和石墨材料的化学性能295

8.4.3 高纯石墨制品296

8.4.4 石墨乳297

8.5 真空油脂299

8.5.1 真空脂299

8.5.2 真空封泥及封蜡301

8.5.3 真空泵油302

8.5.4 高真空微孔密封剂305

8.5.5 有机硅偶联剂306

8.6 硅、氟橡胶及其制品306

8.6.1 硅橡胶306

8.6.2 硅橡胶的性能307

8.6.3 氟硅橡胶307

8.6.4 氟橡胶308

8.6.5 氟橡胶的选用309

8.6.6 几种常用的氟化物309

1．金属的物理性能314

附 表314

2．固态和液态元素的蒸气压316

3．各种耐高温材料的蒸气压320

4．电子器件常用材料退火温度320

5．各种气体与蒸气的爆炸范围、自燃321

点、蒸气的比重321

6．硬度换算表322

1.1 沾污的类型327

第1章 材料与零部件的净化327

第2篇 电真空器件通用生产技术327

1.2 机械净化328

1.2.1 磨光328

1.2.2 抛光330

1.2.3 刷光330

1.2.4 喷砂332

1.2.5 滚筒研磨334

1.3.1 溶剂净化338

1.3 化学净化338

1.3.2 洗净剂净化342

1.3.3 碱液净化346

1.3.4 酸液净化349

1.3.5 水清洗355

1.4 热处理净化355

1.4.1 在空气中热处理355

1.4.2 在氢气中热处理357

1.4.3 在真空中热处理363

1.5 其它净化367

1.5.1 电化学净化367

1.5.2 超声净化371

1.5.3 粒子轰击净化374

1.5.4 激光净化374

1.6 净化件的贮存374

1.7 检验和质量分析375

2.1.1 喷涂377

第2章 零部件的被覆377

2.1 机械被覆377

2.1.2 刷涂382

2.1.3 旋涂385

2.1.4 拉涂387

2.1.5 浸渍涂覆387

2.1.6 沉淀被覆388

2.2 物理被覆389

2.2.1 静电喷涂389

2.2.2 熔融喷涂392

2.2.3 热涂395

2.2.4 真空蒸镀396

2.2.5 溅射沉积399

2.2.6 离子镀403

2.3.1 化学气相沉积406

2.3 化学被覆406

2.3.2 置换镀409

2.3.3 化学镀409

2.3.4 化学转化412

2.4 电化学被覆413

2.4.1 电镀413

2.4.2 电泳421

2.4.3 电化学转化423

第3章 金属零件的焊接和连接426

3.1 电阻焊427

3.1.1 电阻焊的特点和分类427

3.1.2 电真空工业常用金属点焊427

的可焊性427

3.1.3 点焊工艺429

3.1.4 缺陷分析438

3.1.5 点焊质量的监测439

3.1.6 凸焊440

3.1.7 滚焊442

3.1.8 对焊443

3.2 熔化焊443

3.2.1 氩弧焊443

3.2.2 微束等离子焊接453

3.2.3 电子束焊462

3.2.4 激光焊471

3.3 钎焊476

3.3.1 钎焊的特点与种类476

3.3.2 钎焊接头设计477

3.3.3 零件钎焊的定位方法及模481

具选择481

3.3.4 钎焊工艺481

3.3.5 多级钎焊484

3.3.6 常用金属材料的钎焊485

3.3.7 钎焊在电真空器件生产中487

的应用487

3.3.8 钎焊缺陷分析489

3.4 压力焊492

3.4.1 扩散焊492

3.4.2 超声波焊503

3.4.3 冷压焊505

3.5 其它连接方法506

3.5.1 机械连接506

3.5.2 粘接511

第4章 玻璃零件及其封接514

4.1 玻璃零件514

4.1.1 玻管514

4.1.2 玻壳518

4.1.4 玻璃支杆523

4.1.3 玻碟与玻屏523

4.1.5 窗口玻片525

4.2 玻璃零件的冷加工525

4.2.1 切割525

4.2.2 研磨526

4.2.3 抛光530

4.3 玻璃与金属封接533

4.3.1 封接件及其材料的技术要求533

4.3.2 玻璃与金属的润温534

4.3.3 玻璃与金属的膨胀系数534

4.3.4 金属材料的净化及表面处理537

4.3.5 金属氧化层的形成及其工艺537

4.3.6 典型封接结构及玻璃与538

金属封接件538

4.4 玻璃与玻璃的封接546

4.4.1 直接熔封546

4.4.2 玻璃焊料封接547

4.4.3 过渡玻璃封接548

4.5 应力与退火553

4.5.1 玻璃中的热致应力553

4.5.2 玻璃与玻璃的封接应力553

4.5.3 玻璃与金属的封接应力554

4.5.4 应力的测定556

4.5.5 玻璃的退火557

4.6 玻璃成型的模具558

4.6.1 对模具材料的技术要求558

4.6.2 模具材料558

4.6.3 模具涂料559

4.6.4 模具温度559

4.6.5 模具的冷却559

5.1 电真空器件中的陶瓷561

及其封接件561

第5章 陶瓷、云母与金属的封接561

5.2 常用陶瓷-金属封接结构564

5.2.1 分类564

5.2.2 平封结构566

5.2.3 套封结构568

5.2.4 针封结构570

5.2.5 混合结构571

5.3 常用陶瓷-金属封接工艺571

5.3.1 烧结金属粉末法572

5.3.2 活性金属法584

5.3.3 其他封接方法590

5.3.4 部分特殊介质的封接方法594

5.3.5 陶瓷-金属封接件的检验595

5.4 云母零件及其封接595

5.4.1 云母零件的加工595

5.4.2 检验及废品分析596

5.4.3 云母的封接597

第6章 阴极608

6.1 氧化物阴极609

6.1.1 基金属610

6.1.2 基金属的成形613

6.1.3 碳酸盐616

6.1.4 涂覆工艺619

6.2 氧化物阴极的变体625

6.2.1 海绵镍阴极625

6.2.2 粉敷镍阴极（又称CPC）627

6.2.3 压制阴极（亦称钡镍阴极）629

6.2.4 储存式阴极629

6.3 碳化钍钨阴极630

6.3.1 阴极的成形630

6.3.2 阴极的碳化631

6.4 钡钨阴极634

6.4.1 钨海绵体634

6.3.3 碳化钍钨阴极的废品分析634

6.4.2 难熔盐637

6.4.3 浸渍钡钨阴极制造工艺641

6.4.4 压制钡钨阴极制造工艺642

6.4.5 钡钨阴极的发展644

6.4.6 钡钨阴极成品质量检验和645

废品分析645

6.5.2 次级发射体646

6.5.1 外场致发射体646

6.5 冷阴极646

6.6 其它阴极647

6.8.1 纯金属阴极647

6.6.2 六硼化镧阴极648

6.6.3 氧化钍阴极和稀土氧化物阴极649

6.6.4 镧钨阴极650

6.6.5 阴极-热丝组件651

6.7.1 几项主要性能的比较653

6.7 阴极性能的比较和应用653

6.7.2 阴极性能的综合比较和应658

用范围658

第7章 热丝660

7.1 热丝的结构形式660

7.2 热丝的金属丝材料661

7.3 热丝的成形664

7.3.1 成形前丝料的预处理664

7.3.2 热丝的成形665

7.3.3 热丝成形的辅助工序666

7.4 热丝的涂覆667

7.4.1 热丝涂覆材料667

7.4.2 热丝涂覆工艺670

7.5 热丝的烧结675

7.6 检验方法和废品分析676

8.2 细丝绕螺旋管形栅极的制造678

8.1 对栅极材料的要求678

第8章 栅极678

8.3 框架栅极的制造683

8.4 平板栅极的制造686

8.5 鼠笼栅极的制造689

8.5.1 车床绕制法689

8.5.2 专用机绕制法691

8.5.3 手工绕制法693

8.5.4 电火花加工法695

8.5.5 光刻法697

8.6 热解石墨栅极的制造698

8.7 网状栅极的制造701

8.7.1 电火花加工法701

8.7.2 电镀-机械法704

8.8 蜂窝状球面无截获栅的制造710

8.9.1 涂锆712

8.9 栅极涂覆712

8.9.2 涂碳化钽713

第9章 阳极715

9.1 阳极对材料的要求及常用715

阳极材料的特性715

9.1.1 阳极对材料的要求715

9.1.2 常用阳极材料的特性715

9.2 阳极的典型结构与制造方法718

9.2.1 阳极的典型结构718

9.2.2 典型结构阳极的制造方法721

9.2.3 阳极的应用范围724

9.3 阳极组件的典型结构及727

组合方法727

9.3.1 自然冷却阳极组件727

9.3.2 风冷阳极组件728

9.3.3 水冷阳极组件729

9.3.4 蒸发冷却阳极组件730

9.3.5 超蒸发和热管冷却阳极组件732

9.4 常用连接方法的适用范围733

9.5 阳极表面处理734

第10章 吸气剂735

10.1 蒸散型吸气剂735

10.1.1 常用蒸散型吸气剂品种735

10.1.2 蒸散型吸气剂制造工艺743

10.1.3　蒸散型吸气剂使用要点745

10.2　非蒸散型吸气剂750

10.2.1　常用非蒸散型吸气剂品种751

10.2.2　非蒸散型吸气剂制造工艺760

10.2.3　非蒸散型吸气剂使用要点761

11.1 输能装置764

11.1.1 真空密封窗764

第11章　微波管组件764

11.1.2 阻抗变换器771

11.2 O型器件的慢波系统及774

谐振系统774

11.2.1　螺旋线及环杆、环圈形774

慢波系统774

11.2.2　耦合腔型系统789

11.2.3　速调管谐振腔792

11.3　M型器件的慢波系统及793

谐振系统793

11.3.1　正交场器件分布作用慢波系统793

11.3.2　磁控管谐振系统及管内调谐机构796

11.4　衰减器799

11.4.1 薄膜衰减器800

11.4.2 体积衰减器805

11.5 电子枪807

11.5.1　分类与结构808

11.5.2　特殊制造工艺808

11.6 收集极814

11.6.1 分类与结构814

11.6.2 材料的选择及处理工艺815

11.6.3 制造工艺816

11.6.4 冷却方式817

第12章装 配与封口820

12.1 装配820

12.1.1 装配对真空卫生的要求820

12.1.2 装配中常用的工艺方法820

12.1.3 阴极部件的装配及要求821

12.1.4 栅极部件的装配工艺836

12.1.5 阳极的装配工艺840

12.1.6 静电控制电子管的装配工艺840

12.1.7 微波电子管的装配工艺846

12.2.1 封口用气源857

12.2 封口857

12.2.2 封口用的保护气体860

12.2.3 封口用的模夹具862

12.2.4 玻璃封口用火头种类和结构864

12.2.5 玻璃管封口868

12.2.6 金属管封口875

第13章 排气、老炼及整管处理877

13.1 排气877

13.1.1 排气的要求877

13.1.2 典型的排气系统878

13.1.3 典型排气工艺流程图884

13.1.4 接排气管884

13.1.5 检漏887

13.1.6 零件除气887

13.1.8 阴极的分解与激活891

13.1.7 吸气剂处理891

13.1.9 动态排气894

13.1.10 充气工艺894

13.1.11 封离896

13.1.12 电子管典型排气工艺898

13.2 老炼901

13.2.1 热阴极电子管的常规老炼规范901

13.2.2 老炼实例及特点908

13.3 管外件装配911

13.3.1 管外件的基本类别及作用911

13.3.2 装管基、管帽912

13.3.3 装散热器916

13.3.4 装外调机构917

13.3.5 装磁路零部件920

13.3.6 灌封923

13.4.1 打印924

13.4 整管处理924

13.4.2 涂漆925

13.4.3 包装及贮存927

13.4.4 环境试验对电子管外表的要求929

第14章 真空技术在电真空器件930

生产中的应用930

14.1 真空获得930

14.1.1 旋转机械泵931

14.1.2 扩散泵932

14.1.3 涡轮分子泵935

14.1.4 低温吸附泵938

14.1.5 钛升华泵和离子泵938

14.1.6 低温冷凝泵941

14.1.7 电真空器件常用排气系统942

14.2 真空测量945

14.2.1 全压强的测量945

14.2.2 残余气体分析951

14.3 检漏技术971

14.3.1 漏孔的形式与判断971

14.3.2 排气过程的检漏技术972

14.3.3 电真空器件零部件的检漏975

14.3.4 密封管的检漏技术978

14.3.5 发展中的检漏技术979

14.3.6 电真空器件常用氦质谱检漏仪980

14.4 真空技术与电真空器件981

质量的关系981

14.4.1 真空度与电真空器件质量981

的关系981

14.4.2 管内残余气氛对阴极的作用982

14.4.3 电真空器件的贮存性能987

14.4.4 表面分析技术与电真空器件中失效机理分析999

附录 常用旧计量单位与法定1004

计量单位换算表1004