《半导体器件译丛 3》
作者 | 济南市半导体元件实验所编辑 编者 |
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出版 | 济南市半导体元件实验所 |
参考页数 | 64 |
出版时间 | 1976(求助前请核对) 目录预览 |
ISBN号 | 无 — 求助条款 |
PDF编号 | 85291108(仅供预览,未存储实际文件) |
求助格式 | 扫描PDF(若分多册发行,每次仅能受理1册) |

二氧化硅薄膜的制作方法1
掺杂半导体的外延生长方法4
在HCl或Cl2中SiO2生长的特性6
用电子束在硅上蒸Al2O319
用CVD Al2O3膜形成平面接触结构的多层金属化30
制造集成电路腐蚀金属的自动系统37
COS/MOS集成电路原理42
直接耦合晶体管—晶体管逻辑:一种新的高性能LSI门系列49
霍耳效应集成器件61
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