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第一章 引言1

第二章 真空蒸发1

2.1真空蒸发的基本原理2

2.2真空蒸发的作用3

2.3电极材料的选择4

2.4真空蒸发装置5

2.5影响蒸发质量的因素12

2.6蒸金14

2.7蒸发镍铬16

2.8膜厚的测量17

3.1概述18

第三章 合金18

3.2设备及工艺过程19

3.3各种合金方法的比较22

3.4影响合金质量的因素23

第四章 烧结25

4.1烧结的方法及特点25

4.2烧结工艺的讨论28

第五章 键合29

5.1简述30

5.2热压焊接30

5.3热压工艺的讨论34

5.4超声键合39

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