《半导体材料电磁参数的测量》求取 ⇩

第一章电阻率和电导率1

1.0 引言1

1.1 两探针法电阻率测量3

1.2 共线四探针法电阻率测量7

1.3 方形四探针法电阻率测量13

1.4 探针和测量仪器20

1.5 任意形状薄片样品的电阻率测量25

1.6 电极尺寸、位置及几何形状引起的误差31

1.7 无电极法电阻率测量39

参考文献45

第二章霍尔效应49

2.0 引言49

2.1 测量步骤55

2.2 系统误差62

2.3 任意形状样品的霍尔效应66

2.4 测量装置和测量技术73

2.5 微波霍尔效应79

2.6 螺旋波（Helicon Waves）82

参考文献85

第三章磁阻89

3.0 引言89

3.1 几何磁阻92

3.2 干扰和不均匀性96

3.3 物理磁阻102

3.4 微波磁阻106

参考文献114

第四章载流子传输参数117

4.0 引言117

4.1 本征导电和近本征导电119

4.2 非本征和补偿材料126

4.3 简并性130

4.4 载流子在导带间和价带间的传输133

4.5 载流子迁移率139

参考文献145

第五章非均匀和各向异性材料148

5.0 引言148

5.1 扩散和离子注入149

5.2 有序夹杂物和电导率条纹159

5.3 多晶和多相材料168

5.4 各向异性材料172

参考文献175

第六章受表面空间电荷控制的测量179

6.0 引言179

6.1 平衡态和准静态特性185

6.2 高频和非平衡的C-V测量192

6.3 复数导纳的测量195

6.4 自由载流子浓度的分布200

6.5 栅控电导率和霍尔系数测量205

参考文献215

第七章电学特性的空间分布218

7.0 引言218

7.1 光学法和光伏扫描法219

7.2 测定电导率梯度分布图的电子束法229

7.3 探针位置分布和等电阻率图236

7.4 保角变换和有限差分法241

7.5 扩展电阻技术248

参考文献251

第八章高电阻率材料的电学测量255

8.0 引言255

8.1 直流测量法255

8.2 交流测量技术265

8.3 绝缘体的电学测量269

参考文献278

第九章温差电和热磁效应测量281

9.0 引言281

9.1 塞贝克测量287

9.2 热磁效应测量298

9.3 热传输参数301

9.4 非均匀材料的热电磁特性304

参考文献307

第十章自动测量和计算机辅助测量311

10.0 引言311

10.1 电阻率和霍尔系数的自动测量317

10.2 分时计算机控制测量327

10.3 烘箱、低温恒温器和温度控制器334

10.4 数字化可编程序部件336

参考文献338