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目录1

第一章 概观1

第二章 半导体器件工业展望3

电子设备展望3

美国4

欧洲5

日本5

世界其他国家6

半导体器件生产展望6

半导体器件的消耗量6

消耗量与产量之比较11

半导体器件的生产12

第三章 硅片消耗30

序言30

硅片的消耗量30

砷化镓片子的消耗量33

硅片的消耗因素33

硅片面积的消耗量38

硅片的消耗片数38

第四章 光刻技术的发展趋势46

集成度—动力46

最小线宽的缩小49

光刻技术51

中间掩模版/掩模版制版技术的发展趋势51

硅片光刻技术的发展趋势53

第五章 硅片曝光设备市场56

光学式曝光设备56

硅片的通过量56

光刻机的生产率60

光刻设备市场61

主要的设备供应厂商66

先进的硅片曝光设备67

电子束直刻式光刻机市场67

X射线光刻机的前景67

其他光刻技术67

第六章 中间掩模版/掩模版制版设备市场68

市场综述68

中间掩模版/掩模版制版设备69

中间掩模版/掩模母版的需求量70

检版设备市场71

中间掩模版的自动检版72

第七章 光刻材料市场73

光刻胶及其有关的化学剂73

概述73

半导体器件生产用的光刻胶73

光刻胶市场78

掩模版和中间掩模版用的感光版80

感光版市场80

供应厂商82

第八章 中间掩模版/掩模版制版销售服务83

附录84

美国电子产品生产的统计信息源介绍85

按生产公司的地理位置和产品种类划分87

世界半导体器件的销售额87

世界半导体器件的销售情况——世界总计94

世界半导体器件的销售情况——美国公司97

世界半导体器件的销售情况——欧洲公司100

世界半导体器件的销售情况——日本公司103

世界半导体器件的销售情况——世界其他国家公司106

按公司总部所在地区划分世界硅片消耗量109

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