《半导体器件研究与进展 3》求取 ⇩

分子束外延孔梅影1

一、前言1

二、分子束外延原理4

三、分子束外延设备5

四、分子束外延生长20

五、分子束外延的衍生技术40

六、分子束外延材料及其应用45

七、结束语59

参考文献59

金属有机化合物气相外延陆大成段树坤63

一、前言63

二、生长系统65

三、源材料70

四、生长机构78

五、材料生长与器件应用98

六、新工艺技术154

七、结束语163

参考文献164

内光栅反馈型动态单频DFB/DBR激光器王圩174

一、前言174

二、发展动态单频激光器的实用意义175

三、实现动态单模工作的途径184

四、内光栅反馈型激光器的选模特性188

五、DFB/DBR激光器的谐振特性193

六、DFB/DBR激光器工作特性201

七、内光栅反馈型激光器的制作213

八、内光栅反馈型激光器的新进展223

九、结束语227

参考文献228

砷化镓超高速集成电路梁春广马振昌232

一、前言232

二、砷化镓高速器件239

三、砷化镓超高速集成电路基本逻辑单元及其设计261

四、砷化镓超高速集成电路制造工艺316

五、结语347

参考文献350

MIS隧道结与MIS隧道结器件郭维廉353

一、前言353

二、MIS隧道结物理模型360

三、MIS隧道结的电学特性369

四、MIS太阳电池381

五、MIS隧道结双极晶体管397

六、MIS隧道结场效应晶体管412

七、MIS隧道结开关器件和敏感器件421

八、MIS隧道结器件的长期使用寿命433

九、结束语442

参考文献443