《表1 不同纳米结构碳膜的刻划硬度计算参数》

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《超薄纳米薄膜的划痕硬度评价方法及应用》

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为进一步分析纳米结构碳膜的划痕硬度，对不同划痕的划痕宽度进行测量.利用式（2）得到3种碳膜残余划痕顶角的变化范围，结果如表1.与硅基体一样，3种碳基结构薄膜的残余划痕顶角均大于150°，可采用等效压头的方法计算纳米划痕硬度.结合实际测得的摩擦系数，采用压头等效方法，利用式（3）计算得到测试样品，即薄膜和基体的等效硬度H*.