《表4 不同加热温度下膜的硬度和弹性模量》

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《加热温度对模具用316L不锈钢镍磷表面Ti-DLC双层膜摩擦学性能的影响》

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表4为不同加热温度下所得Ti-DLC双层膜的硬度及弹性模量结果。可以看出，硬度随温度增加单调减小。这是因为表层DLC膜发生了更明显的石墨化现象，温度越高石墨化现象越强，导致硬度减小。随着温度的增加，弹性模量表现出先增加后减小的变化规律，最大值187.42 GPa出现在300℃温度下。这是因为随着温度增加，石墨相增强，增强了双层膜表面的弹性模量；但随着温度增加到400℃，会降低薄膜强度，这从磨痕向深度发展可看出来，导致弹性模量降低。