《表1 不同基体AlTiN涂层的硬度和弹性模量试验结果》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《微纳米覆盖层材料的力学性能表征探讨》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

由图1可以看到，当压入深度较浅时，由于存在比较明显的膜层表面效应，试验结果有较大的波动；而当压入深度达到100 nm后，此时两个样品的硬度以及弹性模量曲线基本重合，表明膜层的表面效应基本上不再存在，相同涂层的力学性能基本一致。取压入深度分别在100、200、300 nm处3次测量结果的平均值，可以得到样品1以及样品2的AlTiN涂层的硬度和弹性模量，结果如表1所示。结果表明，同膜材、同膜厚即使基底不同，膜材的力学性能也是基本一致的。