《表2 同基体、不同膜厚TiN涂层的硬度和弹性模量试验结果》

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《微纳米覆盖层材料的力学性能表征探讨》

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GPa

样品3在压入深度250～350 nm范围内测量3次，压入深度分别为250、300、350 nm，取3次测量结果的算术平均值；样品4在压入深度250～350 nm范围内测量3次，压入深度分别为50、75、100 nm，取3次测量结果的算术平均值，结果如表2所示。