《表1 铜膜与基体的弹性模量及纳米硬度》

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《纳米铜润滑油添加剂的摩擦学特性及其自修复机理》

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图5为采用纳米压痕法得到的基体材料表面和沉积铜膜的载荷-位移曲线。根据Oliver-Pharr方法[12]计算，得到基体及沉积铜膜的压入深度hc、弹性模量Er及硬度H见表1。在摩擦接触表面的挤压力作用下，纳米铜微粒在沟槽及犁沟逐渐沉积，形成致密的铜膜，其弹性模量为78.08 GPa，纳米硬度为1.63 GPa，具有相对较低的剪切强度，可有效地降低黏着磨损现象的产生。