《表2 CIS单粒子翻转实验数据》

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《8T-全局曝光CMOS图像传感器单粒子翻转及损伤机理》


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采用八角连通、边缘检测等图像处理方法来处理、分析实验过程中实时采集存储的图像,统计出重离子辐照诱发的单粒子翻转数。实验结果表明:当重离子LET值小于3.1MeV·cm2·mg-1时,器件没有发生单粒子翻转;当LET值为9.3MeV·cm2·mg-1、27Si离子辐照注量为1.3×106 ion/cm2时,CIS发生377次翻转。单粒子翻转截面σ表示单位注量下的单粒子翻转数,一般地,当粒子垂直进入芯片表面时,σ为单粒子翻转数的总注量比值。因此,在LET值为9.3MeV·cm2·mg-1的27Si重离子辐照下,单粒子翻转截面σ为2.9×10-4 cm2/device;表2所示为不同重离子辐照实验下CIS产生的单粒子翻转数和单粒子翻转截面,可以发现,当LET值大于9.3MeV·cm2·mg-1时,随着辐照累积注量的增加,CIS产生的单粒子翻转数逐渐增多;单粒子翻转截面σ随着重离子LET值的增大而逐渐增大。