《表2 不同Ti N薄膜的物理特性参数测试值Tab.2 Test values of various physical characteristics for different Ti N thin

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《氮化钛薄膜二次电子发射特性研究》


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基于以上的讨论可知，N2流量、薄膜中N:Ti原子比βN:Ti以及薄膜的溅射速率之间存在一个折中的关系，对比表1的溅射参数及表2的测试结果可得出以下结论:当\n时，薄膜中N:Ti原子比βN:Ti较理想（接近1:1），且薄膜的沉积速率适中。

图表编号XD004079500    严禁用于非法目的
绘制时间2018.05.20
作者王丹、贺永宁、崔万照
绘制单位西安交通大学微电子学院、西安交通大学微电子学院、中国空间技术研究院西安分院空间微波技术国防科技重点实验室
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