《表2 不同下拉速率下晶粒大小统计 (mm)》

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《Marangoni效应下下拉速率对多晶硅真空定向凝固晶体质量的影响研究》

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用割线法对三个下拉速率（5μm/s、10μm/s、15μm/s）下制备的多晶硅铸锭的晶粒尺寸进行了统计，如表2所示，首先将多晶硅铸锭沿轴向等分为6等份，在除去其底部和顶部这两个部分后，对整个多晶硅铸锭的2/6、3/6、4/6和5/6高度进行晶粒尺寸的测量。从表2中可知，三个下拉速率下的多晶硅晶粒尺寸均沿着多晶硅铸锭高度的增高而逐渐增大；多晶硅铸锭最小的晶粒尺寸出现在下拉速率为15μm/s时；当下拉速率为10μm/s时的晶粒尺寸最大，统计结果符合我们对实验样品纵向截面的分析。通过上述的讨论与分析可知，在多晶硅真空定向凝固的过程中，下拉速率对多晶硅铸锭的质量有着极其重要的影响。一个合适的下拉速率，不仅能减少能耗，还能生成较好质量的多晶硅铸锭。