《表3 还原炉模型的边界条件定义》
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《基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟》
实验方案选定的建模对象是硅棒直径90 mm时的CVD还原炉，该生长时刻对应进料情况、硅棒加热电流，以及硅棒、炉体等材料的物理参数作为边界条件，模型的边界条件定义见表3。
| 图表编号 | XD0039606900 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.01.01 |
| 作者 | 李有斌、张胜涛、何银凤、梁世民、韩金豆、付昊、赵丽丽 |
| 绘制单位 | 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、哈尔滨工业大学化学与化工学院、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、哈尔滨工业大学化学与化工学院、哈尔滨工业大学化学与化工学院 |
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