《表2 网格质量参数：基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟》

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《基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟》

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进行数值模拟前，需要先通过网格化分将物理空间映射到计算空间。进而用数学模型描述还原炉内的流动、传热问题，通过非线性偏微分方程的求解，得到模拟结果。网格划分通过软件内置的网格生成器模块实现，完成网格建立后的还原炉模型如图1所示，网格质量参数见表2，网格质量符合要求。